- бизнес-книги
- детские книги
- дом, дача
- зарубежная литература
-
знания и навыки
- изучение языков
- компьютерная литература
- научно-популярная литература
- словари, справочники
-
учебная и научная литература
- безопасность жизнедеятельности
- военное дело
- гуманитарные и общественные науки
- естественные науки
- задачники
- монографии
- научные труды
- практикумы
- прочая образовательная литература
- сельское и лесное хозяйство
-
технические науки
- высокие технологии
- горное дело
- информатика и вычислительная техника
- конструкции
- легкая промышленность
- материаловедение
- машиностроение
- нормативная документация
- общетехнические дисциплины
- основы производства
- пищевая промышленность
- приборостроение
- проектирование
- промышленность
- радиоэлектроника
- строительство
- техническая литература
- технологии металлов
- транспорт
- химическая технология
- эксплуатация промышленного оборудования
- энергетика
- учебники и пособия для вузов
- учебники и пособия для ссузов
- учебно-методические пособия
- история
- комиксы и манга
- легкое чтение
- психология, мотивация
- публицистика и периодические издания
- родителям
- серьезное чтение
- спорт, здоровье, красота
- хобби, досуг
Reinhardt Karen A. — Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing. Fundamentals and Applications
Купить и скачать за 33745.95 ₽
Понравилась книга? Поделись в соцсетях:
Автор: Reinhardt Karen A.
Издатель: John Wiley & Sons Limited
ISBN: 9781118071731
Описание: This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation. The theory and fundamental physics associated with wet etching and wet cleaning is reviewed, plus the surface and colloidal aspects of wet processing. Formulation development practices and methodology are presented along with the applications for preventing copper corrosion, cleaning aluminum lines, and other sensitive layers. This is a must-have reference for any engineer or manager associated with using or supplying cleaning and contamination free technologies for semiconductor manufacturing. From the Reviews… «This handbook will be a valuable resource for many academic libraries. Many engineering librarians who work with a variety of programs (including, but not limited to Materials Engineering) should include this work in their collection. My recommendation is to add this work to any collection that serves a campus with a materials/manufacturing/electrical/computer engineering programs and campuses with departments of physics and/or chemistry with large graduate-level enrollment.» —Randy Wallace, Department Head, Discovery Park Library, University of North Texas