- Бизнес-Книги
- Боевики
- Детективы
- Детские книги
- Дом, Семья
- Зарубежная литература
- Искусство
- Классика
- Книги по психологии
- Компьютеры
- Любовные романы
- Наука, Образование
- Периодические издания
- Повести, рассказы
- Поэзия, Драматургия
- Приключения
- Публицистика
- Религия
- Современная проза
- Справочники
- Фантастика
- Фэнтези
- Юмор
М. А. Королев — Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Понравилась книга? Поделись в соцсетях:
Автор: М. А. Королев
Издатель: Лаборатория знаний
Год: 2012
ISBN: 978-5-9963-2904-5
Описание: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.