- Бизнес-Книги
- Боевики
- Детективы
- Детские книги
- Дом, Семья
- Зарубежная литература
- Искусство
- Классика
- Книги по психологии
- Компьютеры
- Любовные романы
- Наука, Образование
- Периодические издания
- Повести, рассказы
- Поэзия, Драматургия
- Приключения
- Публицистика
- Религия
- Современная проза
- Справочники
- Фантастика
- Фэнтези
- Юмор
Л. А. Сейдман — Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Понравилась книга? Поделись в соцсетях:
Автор: Л. А. Сейдман
Издатель: Техносфера
Год: 2009
ISBN: 978-5-94836-222-9
Описание: Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.