- Бизнес-Книги
- Боевики
- Детективы
- Детские книги
- Дом, Семья
- Зарубежная литература
- Искусство
- Классика
- Книги по психологии
- Компьютеры
- Любовные романы
- Наука, Образование
- Периодические издания
- Повести, рассказы
- Поэзия, Драматургия
- Приключения
- Публицистика
- Религия
- Современная проза
- Справочники
- Фантастика
- Фэнтези
- Юмор
Дмитрий Духопельников — Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Понравилась книга? Поделись в соцсетях:
Автор: Дмитрий Духопельников
Издатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
Год: 2014
ISBN: 978-5-7038-3798-6
Описание: Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.