• Электронные книги
  • Авторы
  • Программы
Найти книгу:

электронные книги

  • бизнес-книги
  • детские книги
  • дом, дача
  • зарубежная литература
  • знания и навыки
    • изучение языков
    • компьютерная литература
    • научно-популярная литература
    • словари, справочники
    • учебная и научная литература
      • безопасность жизнедеятельности
      • военное дело
      • гуманитарные и общественные науки
      • естественные науки
      • задачники
      • монографии
      • научные труды
      • практикумы
      • прочая образовательная литература
      • сельское и лесное хозяйство
      • технические науки
      • учебники и пособия для вузов
      • учебники и пособия для ссузов
      • учебно-методические пособия
  • история
  • комиксы и манга
  • легкое чтение
  • психология, мотивация
  • публицистика и периодические издания
  • родителям
  • серьезное чтение
  • спорт, здоровье, красота
  • хобби, досуг

В. Ю. Васильев — Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Купить и скачать за 180 ₽





Понравилась книга? Поделись в соцсетях:
Facebook Twitter Вконтакте OK

Автор: В. Ю. Васильев

Издатель: Новосибирский государственный технический университет

Год: 2022

ISBN: 978-5-7782-4726-0

Описание: Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Купить и скачать за 180 ₽


© epub.ru      О сайте